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产品名:热障涂层电子束镀膜机

简 介:

  热障涂层电子束镀膜机用于制备陶瓷隔热涂层的镀膜设备,可镀制三氧化二铝、氧化锆等陶瓷隔热涂层。基片加热温度可达1100℃镀膜厚度可达数百纳米。是镀制高温防腐涂层的理想设备。
 
技术参数:
  极限真空:2E-4Pa
  恢复真空:3E-3Pa≤20min
  系统配置:扩散泵,罗茨泵,机械泵
  加热源:皮尔斯电子枪
  蒸发源:EEG-14电子枪
  基片加热温度:≤1100℃
  基片镀膜厚度:≤500nm

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